我司提供三轴精密运动台作为密封圈外观缺陷检测的运动系统，搭配客户高精度CCD相机等检测设备完成测量过程。
精度指标
X轴作为步进轴，双向重复定位精度≤±0.1μm，直线度优于1μm
Z轴微动步距优于1μm，用来调整相机位置，聚焦到工件表面
C轴作为连续旋转轴，跳动误差优于200nm（重复定位、径向跳动，工件尺寸大，考虑摆角误差）
结构特点
X轴为闭式气浮导轨结构，四面均匀受力，相较于开式气浮结构，侧向气浮刚度更大，承载能力更强
Z轴带断电抱闸功能，防止断电后Z轴负载掉落，避免出现损坏工件及人身伤害等事故
C轴采用气浮转台结构，百纳米级别的轴向跳动误差和径向跳动误差
